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Herz主動式減震系統(tǒng)平臺為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供的主動隔振性能(從0.5Hz開始)。UT-1000A平臺通過消除，干擾測量的破壞性低頻振動噪聲，幫助用戶從顯微鏡中獲得更多信息。

F54薄膜厚度測量儀的產品能以一個電動R-Theta 平臺自動移動到選定的測量點以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度, 樣品直徑達450毫米，可選擇數十種內建之同心圓,矩形,或線性圖案模式,或自行建立無數量限制之測量點.只需具備基本電腦技能，就可在數分鐘內自行建立配方。

薄膜厚度測量儀以真空鍍膜為設計目標，F(xiàn)10-RT 只要單擊鼠標即可獲得反射和透射光譜。 只需簡單操作。用戶就能進行 FWHM 并進行顏色分析。

AVI-600系列 主動式防震系統(tǒng)為緊湊型的主動隔振系統(tǒng)，是納米技術大型儀器隔振的解決方案。對升級和整合到現(xiàn)有的需要低頻隔振功能的設備來說是不錯的選擇。

F3-sX薄膜厚度測量儀利用光譜反射原理，可以測試眾多半導體及電解層的厚度，可測厚度達3毫米。此類厚膜，相較于較薄膜層表面較粗糙且不均勻，F(xiàn)3-sX系列配置10微米的測試光斑直徑因而可以快速容易的測量其他膜厚測試儀器不能測量的材料膜層。而且能在幾分之一秒內完成。

F54-XYT-300薄膜厚度測量儀具有集成的顯微鏡和實時攝像頭，可以精確監(jiān)控膜厚測量點。小尺寸的測量光斑允許測量有圖案的樣品，并且可以改良在較粗糙的材料上的測量性能。